[发明专利]采用EBSD定量评价钢中残余奥氏体的方法

摘要

一种采用EBSD定量评价钢中残余奥氏体的方法，属于钢中组织测量技术领域。此方法是对去除应力的样品表面作面扫描获得背散射衍射信号，利用衍射信号区分各相，找出残余奥氏体并且勾勒出所有残余奥氏体晶粒。再经过数据处理和统计给出各种形态的残余奥氏体的含量。它利用EBSD信号代替光学信号显示组织，并且利用取向差定义晶界，能够准确的鉴别各相并且区分多个相邻晶粒，优点在于解决了TRIP钢中残余奥氏体形态的定量评价问题，克服了光学方法中组织混淆的问题，实现了残余奥氏体形态的准确定量。

主权项

一种采用EBSD定量评价钢中残余奥氏体的方法，其特征在于，具体工艺步骤如下：（1）取样：取待测样品小试样，试样为薄片状，厚度h 0.25mm～2mm，表面积0.25 cm2～5cm2；上下表面平行，待测表面精抛光，使待测表面平整无应力；（2）设置扫描参数：在场发射扫描电镜上使用3#物镜光阑约束电子束直径，调整束流10μA～20μA；在上述条件下，电子束直径为50nm～100nm，设定步长50nm～100nm；（3）扫描：在1000～4000倍的放大倍数下作全视场的EBSD面扫描，记录标定数据；（4）数据处理：去除扫描结果中的误标点和奇异点之后逐级去除噪点，得到完整的面扫描结果；（5）统计分析：统计所有残余奥氏体晶粒的长宽比r和晶粒尺寸d，列出长宽比r和晶粒尺寸d分布图。