[发明专利]采用EBSD定量评价钢中残余奥氏体的方法

权利要求书

1.一种采用EBSD定量评价钢中残余奥氏体的方法，其特征在于，具体工艺步骤如下：

（1）取样：取待测样品小试样，试样为薄片状，厚度h 0.25mm～2mm，表面积0.25 cm²～5cm²；上下表面平行，待测表面精抛光，使待测表面平整无应力；

（2）设置扫描参数：在场发射扫描电镜上使用3#物镜光阑约束电子束直径，调整束流10μA～20μA；在上述条件下，电子束直径为50nm～100nm，设定步长50nm～100nm；

（3）扫描：在1000～4000倍的放大倍数下作全视场的EBSD面扫描，记录标定数据；

（4）数据处理：去除扫描结果中的误标点和奇异点之后逐级去除噪点，得到完整的面扫描结果；

（5）统计分析：统计所有残余奥氏体晶粒的长宽比r和晶粒尺寸d，列出长宽比r和晶粒尺寸d分布图。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的误标点是由于铁素体的伪对称性或者铁素体与奥氏体晶格某一取向的衍射花样近似而造成的错误解析，误标点与周围点有系统的取向差，奇异点是标定结果中与周围点不同且没有特定取向差的点，噪点是扫描结果中无法解析的点。