[发明专利]一种小功率集成微波微等离子体源有效
| 申请号： | 201210215270.5 | 申请日： | 2012-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102740580A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;王柯乔;黄加华;朱守正 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人： | 董红曼 |
| 地址： | 200062 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时小功率微波输入到平面微带渐变螺旋电感耦合线圈而激励起微波微等离子体。本发明具有频率可调、功率可调、功率源保护以及小型便携等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 集成 微波 等离子体 | ||
【主权项】：
一种小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，包括：锁相环频率合成器（1），用于产生性能优良的微波频率振荡信号；可调衰减器（2），与所述锁相环频率合成器（1）连接，用于增大所述微波频率振荡信号功率的可调范围；宽带功率放大器（3），与所述可调衰减器（2）连接，用于放大所述微波频率振荡信号；环形器（4），与所述宽带功率放大器（3）连接，用于减小微波微等离子体的激励所带来的阻抗不匹配对小型微波功率源的影响；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈（6），与所述环行器（4）连接，用于激励微波微等离子体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东师范大学，未经华东师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210215270.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带有扭转减震器的离合器
- 下一篇：柱塞泵
