[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供了一种通过高效进行基板搬运来提高基板处理的处理能力的技术。一种基板处理装置（100），对基板（9）进行处理，该基板处理装置（100）具有：基板接受部（1），从外部接受基板；涂敷部（2），在基板（9）上涂敷处理液；干燥部（3），使涂覆有处理液的基板（9）干燥；基板支出部（4），将基板（9）向外部支出。另外，基板处理装置（100）具有：搬运机构（5），将位于基板接受部（1）的多个基板（9）同时向涂敷部（2）搬运；搬运机构（6），将在涂敷部2涂覆有处理液的多个基板（9）同时向干燥部（3）搬运；搬运机构（7），将在干燥部（3）已干燥的多个基板（9）同时向基板支出部（4）搬运。

主权项

一种基板处理装置，用于对基板进行处理，其特征在于，具有：基板接受部，其从外部接受基板；涂敷部，其在所述基板上涂敷处理液；搬运系统，其包括搬运机构，该搬运机构将位于所述基板接受部的多个所述基板同时向所述涂敷部搬运。