[发明专利]金属-氧化物-金属电容器无效
| 申请号： | 201210101205.X | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN103367308A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 甘正浩;樊钰婷 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属-氧化物-金属(MOM)电容器结构，其不仅在每层电极的汇总条中设置了用于连接所有金属层中相同极性的电极的堆叠通孔，而且还在每层电极的最外侧指状条中设置了连接所有金属层中相同极性的电极的堆叠通孔，通过外侧四周的堆叠通孔阻挡了MOM电容器周围的水分等的进入，大大降低了MOM电容器的渗湿性，提高了MOM电容器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 电容器 | ||
【主权项】：
一种金属‑氧化物‑金属电容器结构，其特征在于，包括呈堆叠关系的多个金属层以及填充于金属层中的电介质；其中，每个金属层上形成有第一电极和第二电极，所述第一电极包含第一指状条和用于连接所有第一指状条的第一汇总条，所述第二电极包含第二指状条和用于连接所有第二指状条的第二汇总条，所述第二指状条与第一指状条交叉放置且最外侧的指状条为第二指状条；不同金属层的第一电极通过第一汇总条中的堆叠通孔连接，不同金属层的第二电极通过第二汇总条以及最外侧的第二指状条中的堆叠通孔连接。
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