[发明专利]自动获取光刻参数的光刻系统及光刻方法

摘要

本发明涉及一种自动获取光刻参数的光刻系统，包括：光刻参数存储器，用于存储光刻参数；输入模块，用于获取新产品的编号；编号存储器，用于存储现有产品和新产品的编号；处理器，连接光刻参数存储器、输入模块及编号存储器，包括判断单元、第一光刻参数设定单元、第二光刻参数设定单元以及第三光刻参数设定单元，处理器用于执行光刻参数设定流程，并将新产品的光刻参数存入所述光刻参数存储器中。本发明还涉及一种获取光刻参数的光刻方法。本发明利用生产中产品编号的必然与产品的生产工艺、生产流程等挂钩的客观规律，通过计算机系统自动筛选出合适的现有产品，作为新产品设定光刻参数的参考。能够减少人力消耗、提高流片速度和生产效率。

主权项

一种自动获取光刻参数的光刻系统，其特征在于，包括：光刻参数存储器，用于存储光刻参数；输入模块，用于获取新产品的编号；编号存储器，用于存储现有产品和所述新产品的编号；处理器，连接所述光刻参数存储器、输入模块及编号存储器，包括判断单元、第一光刻参数设定单元、第二光刻参数设定单元以及第三光刻参数设定单元，所述处理器用于执行光刻参数设定流程，并将所述新产品的光刻参数存入所述光刻参数存储器中；所述光刻参数设定流程包括所述判断单元从编号存储器中读取并将所述新产品的编号与现有产品的编号进行逐一比较，判断是否存在编号的前A位与所述新产品相同的现有产品，若有，则所述第一光刻参数设定单元将所述编号的前A位与新产品相同的现有产品中，最新反馈给光刻参数存储器的光刻参数设定为所述新产品的光刻参数；否则所述判断单元继续判断是否存在编号的前B位与所述新产品相同的现有产品，若有，则所述第二光刻参数设定单元在所述编号的前B位与新产品相同的现有产品中，取C个产品中每个产品最新反馈给光刻参数存储器的光刻参数计算平均值并设定为所述新产品的光刻参数，其中A＞B；否则所述第三光刻参数设定单元在与所述新产品的光刻工艺相同的现有产品中取D个，计算所述D个现有产品的光刻参数的平均值并设定为新产品的光刻参数。