[发明专利]一种多功能PVD镀膜机无效
| 申请号： | 201210096695.9 | 申请日： | 2012-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102634764A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 张笑;朱宏辉 | 申请（专利权）人： | 上海仟纳真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/34;C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 马家骏 |
| 地址： | 201107 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多功能PVD镀膜机，包括真空室、设置在真空室内的导电工件转架、等离子电弧蒸发源和电弧电源，还包括脉冲偏压电源、中频溅射源、中频电源、气体离子源、离子源电源，所述脉冲偏压电源和等离子电弧蒸发源、中频溅射源、气体离子源通过四组开关进行单独控制，脉冲偏压电源和等离子电弧蒸发源、中频溅射源、气体离子源都可以单独或协同工作。本发明的特点在于，一台机器可以实现等离子电弧镀膜和溅射镀膜，不需要更换机台或配置，就可以实现多种镀膜的选择，大大降低了设备投入成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 pvd 镀膜 | ||
【主权项】：
一种多功能PVD镀膜机，包括真空室、设置在真空室内的导电工件转架、等离子电弧蒸发源和电弧电源，其特征在于，还包括脉冲偏压电源、中频溅射源、中频电源、气体离子源、离子源电源，所述脉冲偏压电源和等离子电弧蒸发源、中频溅射源、气体离子源通过四组开关进行单独控制，脉冲偏压电源和等离子电弧蒸发源、中频溅射源、气体离子源都可以单独或协同工作。
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