[发明专利]光电压测定装置

摘要

提供一种使光量稳定性提高的光电压测定装置。构成为，从被光源驱动装置1驱动的光源2出射的光，透过SM耦合器12，利用单模光纤13而被引导到测定点附近。该光利用光纤型的偏振器14而被直线偏光，进而利用光纤型的1/8波长板15而被椭圆偏光，利用准直器16进行准直，透过电光学元件7，在反射膜17发生反射，再次透过电光学元件，利用准直器16与光纤型的1/8波长板15耦合。上述光纤型偏振器14的导引部分和1/8波长板15的粘着部分被收纳在形成于规定的固定用部件18的圆筒孔18a内，在光纤型偏振器的导引部分和圆筒孔的内壁之间，注入规定的粘着剂而形成粘着层19，从而将光纤型偏振器的导引部分固定于圆筒孔。

主权项

一种光电压测定装置，是反射型的光电压测定装置，至少具备：光源；偏光光学系统，用来使该光源的光成为规定的偏光状态；电光学元件，进行与施加的电压相应的光相位调制；反射镜，使透过上述电光学元件的光反射；测光器，对经上述反射鏡反射并透过上述电光学元件的透射光的某个轴的光强度进行检测；以及受光部，对透过上述测光器的透射光进行检测，并对上述施加电压进行检测；该光电压测定装置的特征在于，对上述偏光光学系统的至少一部分使用光纤型的相位差板；将该相位差板收纳在设置于规定的固定用部件的圆筒孔内。