[发明专利]一种离面静电驱动器及其制作方法无效
| 申请号： | 201210050886.1 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103288034A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王建坤;杨振川;闫桂珍 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低驱动电压MEMS梳齿式离面静电驱动器结构及其制备方法，本发明的驱动器结构包括固定电极、可动电极、锚点、组合扭转梁、驱动输出部分和信号引出焊盘；所述固定电极为固定在基片上的梳齿式电极；所述可动电极为连接到所述驱动输出部分的梳齿式电极；所述组合扭转梁，包括两组折叠扭转梁和一个支架横梁，悬浮固定在基片上。本发明通过采用扭转组合梁，将角位移转化为线位移，不但可以实现低驱动电压下的大行程离面运动，也可以抑制静电拉入效应的影响，提高驱动器的可靠性。本发明工艺过程简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可以实现与其他微光机电系统集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 驱动器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种低驱动电压MEMS梳齿式离面静电驱动器结构，其特征在于：它包括基片、固定电极、可动电极、锚点、组合扭转梁、驱动输出部分和信号引出焊盘；所述固定电极为固定在基片上的梳齿式电极；所述可动电极为连接到所述驱动输出部分的梳齿式电极；所述组合扭转梁，包括两组折叠扭转梁和一个支架横梁，悬浮固定在基片上；所述折叠扭转梁为多个扭转横梁(即可扭转的窄梁)通过首尾相连的方式折叠而成；所述支架横梁为连接两组所述折叠扭转梁的通梁；第一组所述折叠扭转梁的一端连接基片，另一端所述支架横梁；第二组所述折叠扭转梁的一端连接所述支架横梁，另一端连接所述驱动输出部分。
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