[发明专利]异物去除设备以及异物去除方法

摘要

提供了一种能够以高去除效率在所需的方向移动异物的异物去除设备。该异物去除设备去除物体上的异物。振动器具有在物体上提供的第一和第二压电元件。电源向相应的第一和第二压电元件施加交流电压。控制电路控制由电源施加的交流电压。控制电路改变交流电压的频率，同时使向第一和第二压电元件施加的交流电压的相应相位彼此不同，以便同时产生不同阶的第一驻波和第二驻波。

主权项

一种从物体去除其上的异物的异物去除设备，包括：振动器，所述振动器包括物体以及分别设置在物体上的第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件，所述振动器通过分别施加于第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件的交流电压而振动，其中施加于第一电气机械能量转换元件和第二电气机械能量转换元件的交流电压的频率用于在振动器中激励通过叠加彼此不同阶的第一弯曲振动和第二弯曲振动而获得的振动，并且施加于第一电气机械能量转换元件的交流电压和施加于第二电气机械能量转换元件的交流电压的相位彼此不同。