[发明专利]硅片切割方法及切割废料回收方法无效
| 申请号： | 201210032159.2 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN102626954A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 叶海峰 | 申请（专利权）人： | 上海五同机械制造有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02;C10M175/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 何新平 |
| 地址： | 201204 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及切割机械技术领域，尤其涉及一种硅片切割方法及切割废料的回收。硅片切割方法，利用线切割设备的钢丝在惰性气体环境下对硅锭进行切割，切割成硅片。硅片切割废料回收方法，采用上述硅片切割方法切割硅锭后，会产生废料，废料的回收包括如下步骤：1)采用固液分离的方式从废料中分离出聚乙二醇和固体混合物。2)对固体混合物进行清洗。3)采用萃取分离的方式将固体混合物进行初步的分离，分离出硅和碳化硅。4)将分离出的硅进行浮选，浮选出硅和碳化硅。由于采用上述技术方案，本发明能对硅片切割后的废料进行回收利用，降低了硅片切割的成本，并解决了切割废料的污染，环保节能。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 方法 废料 回收 | ||
【主权项】：
硅片切割方法，利用线切割设备，采用线切割技术对硅锭进行切割，切割成硅片，其特征在于，所述线切割设备包括钢丝，所述钢丝在对硅锭进行切割之前，在所述钢丝上均匀涂覆一层浆磨料；所述线切割设备和硅锭放置在惰性气体环境中，所述钢丝在惰性气体环境下对硅锭进行切割。
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