[发明专利]薄膜状产品的制造方法、薄膜状产品的制造装置、及掩膜无效
| 申请号： | 201210021113.0 | 申请日： | 2012-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN102629080A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 政所敏夫;佐藤达弥 | 申请（专利权）人： | 株式会社有泽制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/26 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜状产品的制造方法、薄膜状产品的制造装置、及掩膜。现有技术存在的问题是：所需的掩膜、光源及场地大于最终要得到的一整幅图案曝光面积，使制造装置变大。薄膜状产品的制造方法包括：搬运步骤，沿长度方向搬运长条状的薄膜；曝光步骤，使用曝光预定曝光区域的曝光装置来曝光所述薄膜；其中，在所述搬运步骤及所述曝光步骤中，曝光比所述曝光装置的所述曝光区域中的所述长度方向的长度还要长的、且没有断缝的所述薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜状 产品 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜状产品的制造方法，其特征在于包括：搬运步骤，沿长度方向搬运长条状的薄膜；曝光步骤，使用曝光预定曝光区域的曝光装置来曝光所述薄膜；其中，在所述搬运步骤及所述曝光步骤中，曝光比所述曝光装置的所述曝光区域中的所述长度方向的长度还要长的、且没有断缝的所述薄膜。
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