[发明专利]一种V-Si-N纳米复合硬质涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210007178.X | 申请日： | 2012-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN102560355A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 黄峰;葛芳芳;李艳玲;戴丹 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种V-Si-N纳米复合硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：将Si靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，Si靶和V靶通过挡板与基体隔离，先通入Ar气，进行预溅射，再通入N2气，通过调节Si靶的功率和V靶的功率，在350～600℃和0.3～1.0Pa条件下，沉积V-Si-N纳米复合硬质涂层，其可操作性强、可控性好、易于实施。本发明还公开了一种V-Si-N纳米复合硬质涂层，成分表示为(V1-xSix)N，其中，1-x为0.7～0.98，x为0.02～0.3，兼具有高硬度和低摩擦系数的性能，沉积有该涂层的刀具加工效率高、加工质量好，具有很大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 si 纳米 复合 硬质 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种V‑Si‑N纳米复合硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：(1)基体清洗；(2)沉积涂层：在真空室中，将Si靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，Si靶和V靶到基体的距离均为5cm～10cm，Si靶和V靶通过挡板与基体隔离，先通入Ar气，进行预溅射，再通入N2气，通过调节Si靶的功率和V靶的功率，在350℃～600℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积V‑Si‑N纳米复合硬质涂层，得到V‑Si‑N纳米复合硬质涂层；所述的Si靶的功率密度为0.5～2.5W/cm2，V靶的功率密度为2.5～6.5W/cm2，所述的基体的偏压为‑30V～‑70V。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210007178.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
