[发明专利]一种自支撑压电/铁电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201210002889.8 | 申请日： | 2012-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102569639A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李润伟;左正笏;尚杰;詹清峰;陈斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/053 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自支撑压电/铁电薄膜的制备方法，该方法首先采用现有技术制备保留阻挡层的阳极氧化铝薄膜；然后，在所述的阳极氧化铝薄膜的阻挡层表面沉积底电极，接着在所述的底电极表面依次沉积压电/铁电薄膜与顶电极；最后，用碱溶液腐蚀保留阻挡层的阳极氧化铝薄膜，使阻挡层和阳极氧化铝薄膜溶解在碱溶液中，得到自支撑压电/铁电薄膜。本发明的制备方法克服了衬底对薄膜存在束缚作用而导致的转化效率低、不易集成的问题，得到的自支撑压电/铁电薄膜具有平整度高、转换效率高的优点，是一种成本低廉、简单易行的制备方法，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 压电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种自支撑压电/铁电薄膜的制备方法，其特征是：首先采用现有技术制备保留阻挡层(201)的阳极氧化铝薄膜(200)；然后，在所述的阳极氧化铝薄膜(200)的阻挡层(201)表面沉积底电极(202)，接着在所述的底电极(202)表面依次沉积压电/铁电薄膜(203)与顶电极(204)；最后，用碱溶液腐蚀保留阻挡层(201)的阳极氧化铝薄膜(200)，使阻挡层(201)和阳极氧化铝薄膜(200)溶解在碱溶液中，得到自支撑压电/铁电薄膜。
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