[发明专利]一种用于LED芯片固晶的共晶焊机有效
申请号: | 201210002186.5 | 申请日: | 2012-01-05 |
公开(公告)号: | CN102522348A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 马明驼 | 申请(专利权)人: | 上海共晶电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L33/00 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 宣慧兰 |
地址: | 201506 上海市金山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于LED芯片固晶的共晶焊机,包括:共晶托盘,其上设有可驱动共晶托盘进行水平移动的步进电机进给机构;靶向加热板,设在共晶托盘下方,其上设有加热板驱动汽缸,在该加热板驱动汽缸驱动下紧贴共晶托盘底部;密封平板,设在共晶托盘上方,密封平板与密封平板汽缸连接,在该密封平板汽缸驱动下与共晶托盘上端密合,形成一密闭腔体;芯片紧压导热板,设在所述的密闭腔体内,所述的芯片紧压导热板上设有温度传感器;谐振换能组件,连接芯片紧压导热板,所述的谐振换能组件上设有谐振汽缸;气体管道组件,连通密闭腔体的内部和外部。与现有技术相比,本发明具有共晶焊界面润湿性好、焊接质量稳定、加热温度均衡性误差小等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 led 芯片 共晶焊机 | ||
【主权项】:
一种用于LED芯片固晶的共晶焊机,其特征在于,包括:用于放置设有支架的LED芯片的共晶托盘,其上设有可驱动共晶托盘进行水平移动的步进电机进给机构;靶向加热板,设在共晶托盘下方,所述的靶向加热板上设有加热板驱动汽缸,在该加热板驱动汽缸驱动下紧贴共晶托盘底部,对LED芯片与支架结合的界面进行指向性加热;密封平板,设在共晶托盘上方,所述的密封平板与密封平板汽缸连接,在该密封平板汽缸驱动下与共晶托盘上端密合,形成一密闭腔体;芯片紧压导热板,设在所述的密闭腔体内,紧贴放置在共晶托盘内的LED芯片,所述的芯片紧压导热板上设有温度传感器;谐振换能组件,连接芯片紧压导热板,所述的谐振换能组件上设有用于驱动谐振换能组件和芯片紧压导热板垂直移动的谐振汽缸;用于通入高纯气体、保护气体以及抽真空的气体管道组件,连通密闭腔体的内部和外部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造