[实用新型]电子水平仪的双轴加速传感器有效
| 申请号： | 201120483008.X | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN202433404U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 韩芬英;华强;黄永祥;吴关根 | 申请（专利权）人： | 杭州工具量具有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311251 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了电子水平仪的双轴加速传感器，它包括电源端(101)、传感器、振荡器(103)，解调器(105，106)、电阻(107，108)、脉宽占空比调制器(109)、脉宽信号输出端、滤波电容；所述解调器(105，106)与传感器相连接；所述电阻(107，108)驱动脉宽占空比解调器(109)；滤波电容外接引脚。本实用新型具有高灵敏度、低温漂、低噪声、低功耗、重量轻、良好的线性度、振动频率和加速度的测量范围大以及工作温度广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 水平仪 加速 传感器 | ||
【主权项】：
电子水平仪的双轴加速传感器，其特征在于，所述双轴加速传感器包括电源端(101)、传感器、振荡器(103)，解调器(105，106)、电阻(107，108)、脉宽占空比调制器(109)、脉宽信号输出端、滤波电容；所述解调器(105，106)与传感器相连接；所述电阻(107，108)驱动脉宽占空比解调器(109)；滤波电容外接引脚。
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- 许高斌 - 上海亚尚电子科技有限公司;王长青;杨怀军
- 2011-07-08 - 2012-04-04 - G01P15/18
- 本发明公开一种不等高梳齿电容式三轴加速度传感器及其制作方法，所述传感器包括位于硅衬底上的X、Y轴向加速度的检测单元和Z轴向加速度的检测单元，其中：所述X、Y轴向加速度的检测单元包括：检测X、Y轴向加速度的敏感质量块、L型支撑弹簧梁、等高梳齿差分电容敏感可动梳齿电极对以及固定梳齿电极对；所述Z轴向加速度的检测单元包括：两个用于检测Z轴向加速度的敏感质量块、一字型支撑弹簧梁以及不等高梳齿差分电容敏感电极对。本发明使用三个独立的敏感单元和不等高梳齿差分电容电极结构实现对三轴加速度的无交叉干扰检测。采用MEMS体硅和浅刻蚀工艺，制备工艺的一致性和重复性好，有较高的检测灵敏度、可靠性和稳定性。
- 电容式单质量块全梳齿电极三轴加速度传感器及制作方法-201010272938.0
- 孙博华;王琳 - 孙博华
- 2010-09-02 - 2012-03-21 - G01P15/18
- 本发明公开了一种电容式单质量块全梳齿电极三轴加速度传感器及其制作方法，该加速度传感器采用单质量块设计，x，y，z轴均使用在xy平面上的梳齿结构作为感应加速度电极。感应机构，由重度参杂单晶硅通过深反应离子蚀刻制成，其包括质量块，弹簧机构和梳齿结构。弹簧机构由U型弹簧，和梁结构，组成，共四组对称分布。两组x轴梳齿结构，沿x轴在xy平面内以质量块为中心对称分布，两组y轴梳齿结构，沿y轴在xy平面内以质量块为中心对称分布，四组z向梳齿结构，沿45°和135°线在xy平面内以质量块为中心称分布。三轴加速度测量信号输出互不干扰，实现用单一质量块和全梳齿结构电极来测量三轴加速度。
- 一种宽频三轴角加速度测量方法-201110300031.5
- 郑钢铁;邢志钢;邢建伟;王楠 - 清华大学
- 2011-09-29 - 2012-02-15 - G01P15/18
- 一种宽频三轴角加速度测量方法，通过对四个或者三个三轴线加速度计进行合理布局，通过推导测量方法，用来在较宽频段上对三轴角振动进行测试，同时设计频率较高的底座，使其能够在较宽频段内实现对三轴角加速度的测量，本发明提高了三轴角振动测量装置的频带宽度，具有成本低、拓宽频率范围的特点。
- 一种基于双质量块的三轴微加速度计-201110139699.6
- 李晓莹;李慧敏;常洪龙;李小卿;谢建兵;苑伟政 - 西北工业大学
- 2011-05-26 - 2012-01-18 - G01P15/18
- 本发明涉及一种基于双质量块的三轴微加速度计，属于微机电系统(MEMS)中的微机械传感器领域。此加速度计有两个质量块组成，外质量块中心具有开口，向外伸出的四组动梳齿与固定于基底的四组定梳齿构成两对差分的梳齿电容器，分别检测X和Y方向的加速度输入，外质量块下的金属电极与外质量块构成平板电容器用于检测Z轴加速度输入；内质量块位于外质量块开口内，由锚点固定在基底上，与其下的金属电极形成检测Z轴加速度的参考电容器。本发明的优点是：(1)质量块由较少的梁支撑，有效地减少运动方向的刚度，从而降低器件的尺寸；(2)内电极和内质量块构成Z轴的参考电容，降低了后续电路的复杂性；(3)有效地减少机械耦合和非线性度。
- 三维光纤光栅加速度传感器-201120161858.8
- 胡敬礼;戴靠山;王伟;李中山 - 胡敬礼
- 2011-05-19 - 2011-12-28 - G01P15/18
- 本实用新型公开了一种三维光纤光栅加速度传感器，其包括外壳，以及安装于外壳内的三组加速度检测装置，加速度检测装置分别安装于三个方向上且互相垂直，以检测三个方向的加速度。加速度检测装置包括质量块、铜片、固定块、前定位块、后定位块、光纤和敏感元件，铜片与固定块叠在一起，并固定在外壳上；后定位块固定在铜片上；质量块与铜片固定在一起，质量块一端悬挑；前定位块固定在外壳；固定块、后定位块和前定位块设有相互连通的沟槽，光纤固定在该沟槽里，且在位于固定块与后定位块之间的光纤段上设有敏感元件，光纤引出外壳。通过敏感元件感测三个方向上的加速度值，传感器同时获得三个方向的加速度值，从而实现了加速度的三维检测。
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