[发明专利]一种单晶色斑片返工方法

摘要

本发明公开了一种单晶色斑片返工方法，包括扩散炉高温、超声波清洗、制绒、酸洗、漂洗、甩干等处理。具体如下：(1)将色斑片分选后置于不通源的扩散炉中，在一定温度范围内进行处理若干分钟；(2)将高温处理后的色斑片置于去离子水中进行超声波清洗；(3)将清洗后的硅片置于具有一定浓度的碱和IPA混合溶液中，在一定温度范围的制绒槽进行碱制绒；(4)将重新制绒后的硅片经过酸洗、漂洗及甩干后，制绒结束。本发明提供的处理晶硅太阳能电池制绒后出现的色斑片的方法，能够有效的消除色斑现象，得到的绒面均匀，提高返工片的转换效率，有效地降低了生产成本。

主权项

一种单晶色斑片返工方法，其工艺步骤如下：(1)将色斑片分选出来，装片，置于不通源的扩散炉中，进行高温处理；(2)将高温处理后的硅片放入去离子水中在常温下进行超声波清洗或碱洗处理；(3)将清洗后的硅片置于一碱和IPA的混合溶液中，进行制绒；(4)将制绒后的硅片进行喷淋，然后置于氢氟酸和盐酸的混合溶液中进行酸洗处理，并依次进行漂洗，甩干处理。