[发明专利]导电凸块的柱设计有效
申请号: | 201110400027.6 | 申请日: | 2011-12-02 |
公开(公告)号: | CN102891121A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 谢政杰;黄震麟;蔡柏豪;侯上勇;林俊成;郑心圃 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60;H01L21/768 |
代理公司: | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;房岭梅 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 提供了导电柱的系统和方法。实施例包括:在其外部边缘周围具有沟槽的导电柱。当在导电柱上方形成导电凸块时,将沟槽用于引导导电材料,例如,焊料。然后,通过导电材料可以将导电柱电连接至另一接触件。本发明还提供了一种导电凸块的柱设计。 | ||
搜索关键词: | 导电 设计 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:第一衬底;以及导电柱,向远离所述第一衬底的方向延伸,所述导电柱包括:垂直于所述第一衬底的一个或多个沟槽。
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