[发明专利]碳碳化硅坩埚及其制作工艺无效
| 申请号： | 201110395843.2 | 申请日： | 2011-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN102515812A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 张超 | 申请（专利权）人： | 湖南九华碳素高科有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/84 | 分类号： | C04B35/84;C04B35/80;C04B35/565 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种碳碳化硅坩埚及其制作工艺，解决普通坩埚强度低、抗热震性能差、使用寿命短等问题。碳碳化硅坩埚由碳素纤维和碳化硅复合而成，制作工艺步骤包括预制、固化、致密、纯化、浸硅、炭化、成型。可显著降低坩埚厚度，增加坩埚强度和抗热震性能，提高使用寿命。适合高温炉，如单晶炉等使用。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 坩埚 及其 制作 工艺 | ||
【主权项】：
一种碳碳化硅坩埚及其制作工艺，其特征在于，所述碳碳化硅坩埚由碳素纤维和碳化硅复合而成，制作工艺步骤如下：步骤1，预制：用全碳纤维编织坩埚预制体，坩埚预制体体积密度为0.4‑0.6g/cm3；步骤2，固化：用糠酮树脂对坩埚预制体固化定型；步骤3，致密：用沥青反复浸渍炭化致密坩埚预制体，直至坩埚预制体体积密度达到1.3g/cm3‑1.4g/cm3；步骤4，纯化：将坩埚预制体放入高温炉中纯化后，对形状进行修整，制成碳素坩埚毛坯；步骤5，浸硅：将碳素坩埚毛坯放入硅浸渍剂中自然浸泡12‑24h；步骤6，炭化：将浸泡过的碳素坩埚毛坯装入炭化炉炭化，炭化温度为900‑1000℃；步骤7，重复步骤5和步骤6，直至碳素坩埚毛坯密度达到1.5‑1.6g/cm3；步骤8，成型：将坩埚内外表面打磨抛光，即得到碳碳化硅复合坩埚成品。
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