[发明专利]一种硅片切割方法无效
| 申请号： | 201110388509.4 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103128865A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨长剑;吴进;高敏;曹勇;袁刚 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 314117 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种硅片切割方法，所述方法包括：采用水泡胶将粘胶板粘接在工件板上；将硅棒粘接在所述粘胶板上；硅片切割完成后，采用水浸泡的方式分离所述工件板和粘胶板。通过对本发明的技术方案的描述可知，所述硅片切割方法采用水泡胶粘结粘胶板和工件板，在进行粘胶板脱胶时，只需通过水煮脱胶方式即可实现粘胶板和工件板的分离，相比于现有技术中的高温加热方式，所述技术方案在进行粘胶板脱胶时，能耗低，且无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片切割方法，其特征在于，包括步骤：采用水泡胶将粘胶板粘接在工件板上；将硅棒粘接在所述粘胶板上；硅片切割完成后，采用水浸泡的方式分离所述工件板和粘胶板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江昱辉阳光能源有限公司，未经浙江昱辉阳光能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110388509.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种果汁牛奶
- 下一篇：半喂入收割机割刀曲柄
