[发明专利]光刻机投影物镜温度均衡装置及均衡方法无效
| 申请号： | 201110374973.8 | 申请日： | 2011-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102411265A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 朱骏;陈力钧 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05D23/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴世华;张龙哺 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻机投影物镜温度均衡装置，包括临近于该投影物镜设置的至少一个温度传感器，用于感测该投影物镜不同区域的温度差值；一个通风装置，该通风装置包括一个进风口、一个排风口和至少一条通风管道，该通风管道包围该投影物镜顶部并在朝向该投影物镜的径向设有至少一个开口；物镜温度均衡控制单元，该温度均衡控制单元可根据该温度传感器感测到的温差控制该通风装置的运行状态。该均衡装置实现了对投影物镜顶部的降温，从而能较快速地达成投影物镜整体温度的均衡，其结构简单，安装、维护方便。本发明还公开了一种均衡光刻机投影物镜温度的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 投影 物镜 温度 均衡 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机投影物镜温度均衡装置，包括：临近于该投影物镜设置的至少一个温度传感器，用于感测该投影物镜不同区域的温度差值；一个通风装置，该通风装置包括一个进风口、一个排风口和至少一条通风管道，该通风管道包围该投影物镜顶部并在朝向该投影物镜的径向设有至少一个开口；物镜温度均衡控制单元，该温度均衡控制单元可根据该温度传感器感测到的温差控制该通风装置的运行状态。
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