[发明专利]光刻机投影物镜温度均衡装置及均衡方法有效
| 申请号： | 201110374963.4 | 申请日： | 2011-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102411264A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 朱骏;陈力钧 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05D23/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴世华;张龙哺 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻机投影物镜温度均衡装置，包括：临近于该投影物镜设置的至少一个温度传感器，用于感测该投影物镜不同区域的温度差值；位于该投影物镜下方的至少一个吸热透光层，用于吸收光刻机发出激光光束中的辐射能量并透射该激光光束；物镜温度均衡控制单元，该温度均衡控制单元根据该温度传感器感测的温差控制该吸热透光层吸收该辐射能量并透射该激光光束的程度。当投影物镜的底部温度明显低于投影物镜顶部温度时，该均衡装置可以快速地达成投影物镜整体温度的均衡；其结构简单，安装、维护方便。本发明还公开了一种均衡光刻机投影物镜温度的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 投影 物镜 温度 均衡 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机投影物镜温度均衡装置，包括：临近于该投影物镜设置的至少一个温度传感器，用于感测该投影物镜不同区域的温度差值；位于该投影物镜下方的至少一个吸热透光层，用于吸收光刻机发出激光光束中的辐射能量并透射该激光光束；物镜温度均衡控制单元，该温度均衡控制单元根据该温度传感器感测的温差控制该吸热透光层吸收该辐射能量并透射该激光光束的程度。
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