[发明专利]一种二氧化钒薄膜的制备方法

摘要

一种二氧化钒薄膜的制备方法，属于材料技术领域。本发明利用无机物偏钒酸盐作为钒源，通过添加水溶性聚合物和络合稳定剂形成均一长期稳定的钒前驱体溶液；利用所述钒前驱体溶液经旋涂、高温热处理获得二氧化钒薄膜。本发明能够获得结构、性能良好的二氧化钒薄膜，同时能够克服传统化学溶液法制备二氧化钒薄膜过程中有机金属盐的水解程度不可控、有机金属钒盐溶液不稳定所导致的工艺可控性和重复性较差的技术问题。

主权项

一种二氧化钒薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1：配制无机偏钒酸盐聚合物溶液；首先将带有氨基或者亚氨基的水溶性聚合物溶于水，得到溶液A；然后往溶液A中加入无机偏钒酸盐，搅拌至完全溶解，得到黄棕色溶液B；最后往溶液B中加入具有羧基基团的络合剂，超声、搅拌至溶液澄清透明，得到无机偏钒酸盐聚合物溶液C；步骤2：采用超滤装置，滤去无机偏钒酸盐聚合物溶液C中游离的离子，并采用蒸发的方式除去溶液中的部分水以浓缩溶液，得到钒的聚合物前驱溶液；步骤3：将步骤2所得钒的聚合物前驱溶液旋涂于清洁的基片表面；步骤4：将旋涂了步骤2所得钒的聚合物前驱溶液的基片置于400～800℃的环境中、并在还原气氛下热处理1小时以上，冷却后得到最终的二氧化钒薄膜。