[发明专利]可位移调整磁控管的装置

摘要

一种可位移调整磁控管的装置，包含一个基座单元、至少一个固设在该基座单元一侧的靶材单元、一个安装在该基座单元另一侧的直线驱动单元、一个受该直线驱动单元驱动的转接单元、至少一安装在该转接单元的调整单元及至少一个连结于该调整单元的磁铁单元。该直线驱动单元能连动该转接单元、该调整单元及该磁铁单元沿一个第一方向相对于该靶材单元位移，且操作该调整单元能连动该磁铁单元沿一个第二方向调整与该靶材单元的距离。

主权项

一种可位移调整磁控管的装置，包含一个基座单元、至少一个靶材单元、一个直线驱动单元、一个转接单元、至少一个调整单元及至少一个磁铁单元；其特征在于：该基座单元，具有一个本体、一个固设在该本体一侧的阳极板组及一个与该阳极板组相反且固设在该本体另一侧的定位架，定义该本体具有一条中线；该靶材单元，具有一个固设在该基座单元一侧且对应于该阳极板组的框座及一个安装在该框座的靶材组；该直线驱动单元，具有一个沿该中线安装在该定位架的驱动件及一支受该驱动件驱动能沿一个第一方向往复直线位移的连动件，该中线的延伸方向垂直于该第一方向，该驱动件具有一个齿轮，该连动件具有一个与该齿轮啮合且沿该第一方向延伸的齿排；该转接单元，具有一个连结在该连动件两端的悬架、至少一个连结于该悬架的固定板；该调整单元，具有两支螺锁于该固定板且沿一个垂直于该第一方向的第二方向延伸的调整螺杆，及一个连结在所述调整螺杆之间的传动组，所述调整螺杆能通过该传动组同步位移；该磁铁单元，具有一个连结于所述调整螺杆的定位板及一个定位在该定位板的磁铁组。