[发明专利]刻蚀终点动态检测方法有效
| 申请号： | 201110339025.0 | 申请日： | 2011-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102347197A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王兆祥;黄智林;李俊良;杜若昕 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种刻蚀终点动态检测方法，包括：获取从刻蚀开始至刻蚀完成的实时光信号的强度，其中，从刻蚀开始至刻蚀完成包括延迟时间段、稳定刻蚀时间段和刻蚀终点判断时间段，所述特定波长光信号的强度与刻蚀腔体内的特定刻蚀气体活性组分浓度或产物浓度对应；提供预设的延迟时间段参考阈值；搜索延迟时间段内的实时光信号强度的拐点，若在所述延迟时间段内搜索到拐点，则进入稳定刻蚀时间段，若在所述预设的延迟时间段内无拐点，则在到达参考阈值后进入稳定刻蚀时间段。本发明提供的延迟时间方法精确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 终点 动态 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种刻蚀终点动态检测方法，其特征在于，包括：获取从刻蚀开始至刻蚀完成的实时光信号的强度，其中，从刻蚀开始至刻蚀完成包括延迟时间段、稳定刻蚀时间段和刻蚀终点判断时间段，所述特定波长光信号的强度与刻蚀腔体内的特定刻蚀气体活性组分浓度或产物浓度对应；提供预设的延迟时间段参考阈值；搜索延迟时间段内的实时光信号强度的拐点，若在所述延迟时间段内搜索到拐点，则进入稳定刻蚀时间段，若在所述预设的延迟时间段内无拐点，则在到达参考阈值后进入稳定刻蚀时间段。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）有限公司，未经中微半导体设备（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110339025.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：肌变性疾病的检测方法以及治疗效果判定方法
- 下一篇：移动平台运架一体机
