[发明专利]一种碳化硅切割液及其使用方法有效
申请号: | 201110325832.7 | 申请日: | 2011-10-24 |
公开(公告)号: | CN102433191A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 章金兵;刘宁;刘渝龙;付红平 | 申请(专利权)人: | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
主分类号: | C10M159/02 | 分类号: | C10M159/02;C10M159/00 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338000 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种碳化硅切割液及其使用方法,通过采用多酚类化合物添加入PEG切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液其中一种中,可起到清除多线切割过程中少量PEG、二甘醇和多胺醇裂解产生的自由基的作用,阻止发生自由基链式反应,从而稳定整体其分子结构和分子量。本发明设计合理、使用过程简单、操作方便、使用效果好且实用价值高,能解决现有硅片切割液存在的污染较严重、污片率较高的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 切割 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
一种碳化硅切割液,含有聚乙二醇切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液中的一种,其特征在于,还含有多酚类化合物。
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