[发明专利]镍靶材组件的加工方法及加工装置有效
| 申请号： | 201110321309.7 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102501045A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;袁锦泽 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P17/00 | 分类号： | B23P17/00;B23P23/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镍靶材组件的加工方法，包括：提供一侧设有多个水槽的背板、纯度为99.99％的镍靶材坯料；将镍靶材坯料与背板焊接在一起；将镍靶材组件固定在车床上对镍靶材坯料进行车削加工以得到镍靶材；将镍靶材组件固定在磨床上对镍靶材进行磨削加工。通过合理选用车床刀片，严格控制加工参数减小了车床加工时镍靶材表面上的缺陷；待车床加工完成后，利用磨床并合理选用磨具对镍靶材进行磨削、抛光以进一步减小镍靶材表面上的缺陷，从而得到尺寸精度高、表面粗糙度低的镍靶材，进而得到符合溅射性能的镍靶材组件。本发明还提供一种能对上述镍靶材组件进行加工的加工装置。 | ||
| 搜索关键词： | 镍靶材 组件 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种镍靶材组件的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一侧设有多个水槽的背板、纯度为99.99％的镍靶材坯料；将所述镍靶材坯料与所述背板焊接在一起；将所述镍靶材组件固定在车床上对所述镍靶材坯料进行车削加工以得到镍靶材；将所述镍靶材组件固定在磨床上对所述镍靶材进行磨削加工。
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