[发明专利]一种卷绕镀膜机上在线监测残余气体的方法

摘要

本发明公开了一种在卷绕镀膜机上在线快速监测残留气体的方法，涉及真空镀膜领域与气体分析领域。由以下步骤完成：A）在卷绕镀膜机上的残余气体分析仪与感应探头以及计算机相连接；B）所述步骤A中的感应探头伸入到卷绕镀膜机上的放卷真空室中，对展开后快速移动的PET卷材预处理后产生的气体进行及时的收集；所述的放卷真空室包括基材卷料、红外加热器、等离子刻蚀、张力隔离鼓；C）通过步骤B收集的气体通过残余气体分析仪将待测气体的质谱图显示出来，并与标准气体库进行对比，就可确定气体的成分和含量。

主权项

一种卷绕镀膜机上在线监测残余气体的方法，其特征在于，由以下步骤完成：A）、在卷绕镀膜机上的残余气体分析仪（1）与感应探头（3）以及计算机（4）相连接；B）、所述步骤A中的感应探头（3）伸入到卷绕镀膜机上的放卷真空室（2）中，对展开后快速移动的PET卷材预处理后产生的气体进行及时的收集；所述的放卷真空室（2）包括基材卷料（5）、红外加热器（6）、等离子刻蚀（7）、张力隔离鼓（8）；所述红外加热器（6），将基材卷料（5）进行加热处理，使基材表面的水分子蒸发；所述的等离子刻蚀（7），对基材卷料（5）进行等离子体刻蚀，去除基材薄膜表面的残留气体分子；所述的张力隔离鼓（8），在基材卷料（5）上施加一定的拉力，使基材薄膜保持一定的平整度；C）、通过步骤B收集的气体通过残余气体分析仪（1）将待测气体的质谱图显示出来，并与标准气体库进行对比，就可确定气体的成分和含量。