[发明专利]立式炉体装配辅助装置无效
| 申请号： | 201110303534.8 | 申请日： | 2011-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN102500977A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 孙少东;赵燕平;董金卫;钟华;赵星梅 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/04 | 分类号： | B23K37/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种立式炉体装配辅助装置，涉及半导体工艺设备中炉体的立式装配技术领域，包括：支撑固定块(1)、间隙调节块(2)，其中，所述支撑固定块(1)的上表面上设有滑槽(3)；所述间隙调节块(2)，设于所述滑槽(3)内，用于调节所述支撑固定块(1)的上表面与炉体底部的间隙。本发明能够在对立式炉体进行装配时，对炉体进行支撑、对炉体外壁进行定位，可使炉体在装配过程中的稳固程度得到加强，同时为炉体外壁的装配带来了便利，大大降低了炉体外壁的装配难度。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 装配 辅助 装置 | ||
【主权项】：
一种立式炉体装配辅助装置，其特征在于，包括：支撑固定块(1)、间隙调节块(2)，其中，所述支撑固定块(1)的上表面上设有滑槽(3)；所述间隙调节块(2)，设于所述滑槽(3)内，用于调节所述支撑固定块(1)的上表面与炉体底部的间隙。
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