[发明专利]形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置有效
| 申请号： | 201110303350.1 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102564304A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 市泽康史;千田直道;阿久津实 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其实现对位置及形状进行测定时的校正的简化。具有：薄片，其形成有图案；照相机保持机构，其与该薄片的输送方向正交而配置；照相机，其配置为可以沿该照相机保持机构的长度方向移动；以及图像处理计算机，其对由该照相机拍摄的图像进行处理，在校正时，基于上述涂敷图案和校正用基准体的拍摄图像，进行校正。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 薄片 图案 位置 形状 测定 装置 | ||
【主权项】：
一种形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其特征在于，具有：薄片，其形成有图案；照相机保持机构，其与该薄片的输送方向正交而配置；照相机，其配置为可以沿该照相机保持机构的长度方向移动；以及图像处理计算机，其对由该照相机拍摄的图像进行处理，在校正时，基于所述涂敷图案和校正用基准体的拍摄图像，进行校正。
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