[发明专利]形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置

权利要求书

1.一种形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其特征在于，具有：

薄片，其形成有图案；

照相机保持机构，其与该薄片的输送方向正交而配置；

照相机，其配置为可以沿该照相机保持机构的长度方向移动；以及

图像处理计算机，其对由该照相机拍摄的图像进行处理，

在校正时，基于所述涂敷图案和校正用基准体的拍摄图像，进行校正。

2.根据权利要求1所述的形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其特征在于，

所述校正用基准体配置在使所述照相机保持机构旋转而使所述照相机的拍摄位置移动后的位置上。

3.根据权利要求1或2所述的形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其特征在于，

所述校正用基准体配置在对所述薄片进行拍摄的照相机的拍摄范围内，且与所述薄片隔着规定距离而配置的反射镜的反射方向的规定位置上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其特征在于，

所述校正用基准体，是来自配置于所述照相机保持机构上并朝向所述薄片照射激光的至少一个激光源的激光点。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其特征在于，

在所述照相机保持机构上隔着规定的距离配置多个照相机，并且，该多个照相机以可以沿所述照相机保持机构的长度方向移动的方式固定。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其特征在于，

所述薄片为电池电极。