[发明专利]含有烷基酰胺混合物的剥除剂有效
| 申请号： | 201110285604.1 | 申请日： | 2011-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN103019049A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李豪浚;毛台之;吴富其;张楷键;方旭强 | 申请（专利权）人： | 杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/311 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种烷基酰胺剥除剂，其包括：N-甲基甲酰胺(N-methylformamide)；N，N-二甲基乙酰胺(N，N-dimethylacetamide)；以及水，其中N-甲基甲酰胺占总重量百分比的约50～70％、N，N-二甲基乙酰胺占总重量百分比的约30～50％，水则占总重量百分比的剩余量。本发明的烷基酰胺剥除剂具水互溶性，对于铜或铜合金皆不具腐蚀性，并且对人类和环境基本无毒性。由于烷基酰胺剥除剂的组成成分仅包括两个主要组成成分，因此使用后的剥除剂可以很容易地采用分馏法回收，并重组到原有的配方，在制造过程中再循环应用，以达到降低成本及环境保护的功效。本发明还提供了使用本发明的剥除剂去除光阻的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 烷基 混合物 剥除 | ||
【主权项】：
一种烷基酰胺剥除剂，其包括：N‑甲基甲酰胺(N‑Methylformamide)，其占总重量百分比的50～70％；N，N‑二甲基乙酰胺(N，N‑Dimethylacetamide)，其占总重量百分比的30～50％；以及水，其占总重量百分比的剩余量。
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