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- [发明专利]含有烷基酰胺混合物的剥除剂-CN201110285604.1有效
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李豪浚;毛台之;吴富其;张楷键;方旭强
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杜邦公司
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2011-09-23
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2013-04-03
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G03F7/42
- 本发明涉及一种烷基酰胺剥除剂，其包括：N-甲基甲酰胺(N-methylformamide)；N，N-二甲基乙酰胺(N，N-dimethylacetamide)；以及水，其中N-甲基甲酰胺占总重量百分比的约50～70％、N，N-二甲基乙酰胺占总重量百分比的约30～50％，水则占总重量百分比的剩余量。本发明的烷基酰胺剥除剂具水互溶性，对于铜或铜合金皆不具腐蚀性，并且对人类和环境基本无毒性。由于烷基酰胺剥除剂的组成成分仅包括两个主要组成成分，因此使用后的剥除剂可以很容易地采用分馏法回收，并重组到原有的配方，在制造过程中再循环应用，以达到降低成本及环境保护的功效。本发明还提供了使用本发明的剥除剂去除光阻的方法。
- 含有烷基混合物剥除
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