[发明专利]晶舟封装有效
申请号: | 201110280003.1 | 申请日: | 2011-08-22 |
公开(公告)号: | CN102956529A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | C·G·M·德里德;E·哈尔托赫登-贝斯林克;A·加尔森 | 申请(专利权)人: | 阿斯莫国际公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘兴鹏 |
地址: | 荷兰阿*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 晶舟封装(1)包含一个支架(10),后者带有多根垂直延伸的杆件(12),该杆件沿着其长度在多个位置被隔开,限定了多个副载体安装位置(16);同时,支架中还带有至少一块碎屑收集板(20),其中一块还连接在上述杆件(12)上,位于任意两个相邻的副载体安装位置(16)之间。该封装还包含多个副载体(30),每个被配置以保持多个基本竖直定向的、水平隔开的平面基底(40),且每个都以可拆卸方式安装在支架(10)的副载体安装位置(16)上。当副载体(30)安装在支架(10)内时,每块碎屑收集板(20)都占据了一处碎屑收集区(22),后者延伸到了相应副载体安装位置(16)所安装的副载体(30)下方,跨越的面积至少达一处副载体所占的区域面积。 | ||
搜索关键词: | 封装 | ||
【主权项】:
晶舟封装(1),包括:‑支架(10),包括:‑至少一根基本竖直延伸的杆件(12),在沿着该杆件长度的多个隔开位置限定了多个副载体安装位置(16),每个位置都提供了至少一个副载体安装装置(14);‑至少一块碎屑收集板(20),与所述至少一根杆件(12)相连,使得所述至少一块碎屑收集板(20)基本垂直于所述至少一根杆件(12)延伸,且每两个相邻的副载体安装位置(16)之间设有一块碎屑收集板(20);‑多个副载体(30),每个被配置成保持多个基本竖直定向的、水平隔开的平面基底(40),且每个都能通过相应的副载体安装装置(14)以可拆卸方式安装在支架(10)的副载体安装位置(16);当副载体(30)被安装在支架(10)上相应的副载体安装位置(16)上时,每块碎屑收集板(20)提供在安装于相应的相关副载体安装位置(16)处的副载体(30)下面延伸的碎屑收集区(22),其至少跨越副载体的所占区域。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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