[发明专利]基于MEMS技术的无线传输可植入对称结构压力传感器有效
| 申请号： | 201110279033.0 | 申请日： | 2011-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102423258A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;彭广彬;柴欣;杨春生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | A61B5/0215 | 分类号： | A61B5/0215 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于MEMS技术的无线传输可植入对称结构压力传感器，包括：上下两个对称结构，电容和电感线圈位于基体表面的绝缘层上，整个传感器位于上下两个保护罩中间；两个电感线圈通过一个电感连接导线连接为一个电感，电感线圈的上面一端通过电感电容连接导线连接上电容的下极板，电感线圈的下面一端通过电感电容连接导线连接下电容的上极板，从而实现上下两个电容并联接入电容-电感回路；电容连接线分别连接上下两电容上极板以及连接上下两电容下极板，使得两电容以并联的形式接入电感-电容回路。本发明测量精度高、无线传输能力强、易于实现批量化集成制造。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 无线 传输 植入 对称 结构 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS技术的无线传输可植入对称结构压力传感器，其特征在于由上下两个完全对称的结构组成，每个对称的结构包括：基体、传感器保护罩、电容、电感线圈、电容连接导线、电容电感连接导线和电感连接导线，其中：电容和电感线圈位于基体表面的绝缘层上，整个传感器位于上下两个保护罩中间；两个电感线圈通过一个电感连接导线连接为一个电感，电感线圈的上面一端通过电感电容连接导线连接上电容的下极板，电感线圈的下面一端通过电感电容连接导线连接下电容的上极板，从而实现上下两个电容并联接入电容‑电感回路；电容连接线分别连接上下两电容上极板以及连接上下两电容下极板，使得两电容以并联的形式接入电感‑电容回路。
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