[发明专利]扫描机构、磁控源和磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201110275874.4 | 申请日： | 2011-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN102994966A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 郑金果;刘旭 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01L21/203 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控源的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备。磁控源的扫描机构包括：驱动轴，所述驱动轴上设有第一齿轮；曲柄，所述曲柄的第一端与所述驱动轴相连以由所述驱动轴驱动旋转；第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合；传动部件，所述传动部件具有第三齿轮，所述第三齿轮与所述第二齿轮啮合；和摇杆，所述摇杆的第一端与所述曲柄的第二端可枢转地相连，在所述摇杆的第一端与所述摇杆的第二端之间的位置所述摇杆还与所述传动部件可相对滑动地相连以便所述摇杆同时由所述曲柄和所述传动部件驱动。根据本发明实施例的磁控源的扫描机构可以提高靶材的利用率和靶材刻蚀的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 机构 磁控源 磁控溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种磁控源的扫描机构，其特征在于，包括：驱动轴，所述驱动轴上设有第一齿轮；曲柄，所述曲柄的第一端与所述驱动轴相连以由所述驱动轴驱动旋转；第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合；传动部件，所述传动部件具有第三齿轮，所述第三齿轮与所述第二齿轮啮合；和摇杆，所述摇杆的第一端与所述曲柄的第二端可枢转地相连，所述摇杆与所述传动部件可相对滑动地相连以便所述摇杆同时由所述曲柄和所述传动部件驱动。
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