[发明专利]被研磨物的研磨方法及研磨垫有效
| 申请号： | 201110265297.0 | 申请日： | 2011-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN102398209A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 北村和正;长江智毅 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/26;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;刘煜 |
| 地址： | 日本爱知县名古*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种被研磨物的研磨方法及研磨垫，其用来通过研磨被研磨物的表面而使表面形成为精度较高的凹面或者凸面。研磨垫(10)在表面上的径向的中心区域和外周区域形成有不同的槽状态，中心侧或外侧的任一区域为形成有槽(15)的第一研磨区域(11)、另一区域为做成与第一研磨区域(11)不同槽状态的第二研磨区域(12)，在该研磨垫(10)上以横跨研磨区域(11)与第二研磨区域(12)的交界的状态配设被研磨物(20)，使研磨垫(10)及被研磨物(20)旋转，对被研磨物(20)进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种被研磨物的研磨方法，其特征在于，研磨垫在表面上的径向的中心区域和外周区域形成有不同的槽状态，所述中心区域或所述外周区域中的任一区域为形成有槽的第一研磨区域，另一区域为做成与所述第一研磨区域不同的槽状态的第二研磨区域，在该研磨垫上以横跨所述第一研磨区域与所述第二研磨区域的交界的状态配设被研磨物，使所述研磨垫及所述被研磨物旋转而研磨所述被研磨物，使所述被研磨物的表面形成为凹面或凸面。
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