[发明专利]旋转接头以及溅射装置有效
| 申请号： | 201110262680.0 | 申请日： | 2011-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102400105A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 安松保志 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张斯盾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转接头以及溅射装置。旋转接头具备：具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、插通于筐体的插通孔，能够相对于旋转轴相对于筐体相对旋转的轴体单元、被设置在沿旋转轴方向形成在轴体单元内、且用于与导入口连通的第一轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间，用于切换流体的流量的切换部件。切换部件具有第一孔和比第一孔的直径小、且比第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路的直径小的第二孔。通过切换部件，能够改变在第一轴体单元导入路流动的流体的流量以及在第二轴体单元导入路流动的流体的流量。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 接头 以及 溅射 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转接头，其特征在于，具备：具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、插通于上述筐体的插通孔，能够相对于旋转轴相对于上述筐体相对旋转的轴体单元、沿上述旋转轴方向形成在上述轴体单元内，用于与上述导入口连通的第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路、设置在上述第一轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间，用于切换该流体的流量的切换部件；上述切换部件具有第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的第二孔，能够对上述切换部件的第一孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的一方一致，将上游侧和下游侧连通，且能够对上述切换部件的第二孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的另一方一致，将上游侧和下游侧连通。
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