[发明专利]一种超材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201110255663.4 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102965624A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 刘若鹏;赵治亚;法布里齐亚;何雪涵 | 申请（专利权）人： | 深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超材料及其制备方法，在真空环境下，将蒸镀容器中所需成膜的金属加热至蒸发温度，使金属升华，在低温的基板上形成晶核，然后长大合并形成厚度均匀的金属膜。利用真空蒸镀法为基板镀膜，制成的金属膜纯度高，厚度也可以根据蒸镀时间控制至纳米量级；并且成膜快、效率高，工艺重复性好，无污染、环保；大大减少了金属用量，尤其当选择贵金属作为超材料微结构时，可以降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超材料的制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括以下步骤：将洁净并干燥后的基板放置在蒸镀容器内的工作台上；在真空环境下，将蒸镀容器内的金属加热直至升华成为金属蒸汽；所述的金属蒸汽通过掩膜板在基板上形成一层均匀的金属膜，金属膜图案为超材料的微结构。
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