[发明专利]半导体装置无效
| 申请号： | 201110215215.1 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN102693961A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 许庆龙;汪志昭 | 申请（专利权）人： | 瑞鼎科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体装置，其包含一基板以及一光学对准标志；该光学对准标志形成于包含多层结构层的该基板上；该光学对准标志包含一亮区及一暗区，该亮区包含形成于该基板上的一金属结构，该暗区包含形成于所述结构层其中之一的多个图案结构，所述图案结构环绕该亮区，该暗区及该亮区的对比形成该光学对准标志。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体装置，其特征在于，包含：一基板；多层结构层，形成于该基板上；以及一光学对准标志，形成于至少一所述结构层；该光学对准标志包含一亮区及一暗区，该亮区包含形成于该基板上的一金属结构，该暗区包含形成于所述结构层其中之一的多个图案结构，所述图案结构环绕该亮区，该暗区及该亮区的对比形成该光学对准标志。
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