[发明专利]高含氟芳香-脂肪负性光刻胶及用于制备聚合物波导器件无效
| 申请号： | 201110166166.7 | 申请日： | 2011-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102323717A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 崔占臣;万莹;史作森;许文辉 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G02B6/138 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 张景林;刘喜生 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于聚合物光波导技术领域，具体涉及一种新型负性高含氟芳香-脂肪负性光刻胶组合物，按重量计，其由54.5～73wt％的高含氟芳香-脂肪环氧树脂、5.5～7.3wt％的光致产酸物和20～40wt％的有机溶剂组成，它可以通过改变光致产酸物的种类来调整光刻胶组合物的曝光波长。同时由于在氟化的环氧树脂中，大部分氢原子被氟原子取代，在通讯波段吸收较小，因此该光刻胶组合物可以在紫外波长200～400nm的范围内曝光并成像制作聚合物光波导器件。 | ||
| 搜索关键词： | 高含氟 芳香 脂肪 光刻 用于 制备 聚合物 波导 器件 | ||
【主权项】：
1.一种高含氟芳香-脂肪负性光刻胶组合物，其特征在于：按重量计，由54.5～73wt％的高含氟芳香-脂肪环氧树脂、5.5～7.3wt％的光致产酸物和20～40wt％的有机溶剂组成，其中，高含氟芳香-脂肪环氧树脂为一种或几种结构式如(1)所示的化合物，![]()
Ar为![]()
RF为-CH2CF2CF2CF2CF2CH2-、-CH2CF2CF2CF2CF2CF2CF2CH2-、![]()
或-CH2CH2CH2CH2CH2-；m为5～20的整数，n为0～20的整数；光致产酸物为碘鎓盐或硫鎓盐。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110166166.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
