[发明专利]一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法

摘要

本发明公开了一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法，包括使用数据处理客户端和服务器端进行共同处理、缓存中间数据以适应数据处理速度和平台运动速度差异、在数据处理中设置存储区池和处理流水线进行版图数据处理几步。本发明提高了扫描式无掩膜光刻机的数据处理效率，解决了由于CPU和内存处于满负荷运行仍然反应迟钝而导致数据处理实时性无法满足扫描式光刻设备要求的问题，提高了图像数据处理的准确度。

主权项

一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）使用数据处理客户端和服务器端进行共同处理：客户端负责输入版图文件和各种处理命令，进行解析并提取特定区域内的图形；服务器端对数据进行各种图形图像处理；客户端和服务器端通过网络进行数据通信，和操作上的同步；（2）缓存中间数据以适应数据处理速度和平台运动速度差异：在存储设备上暂时保存数据处理的结果，待数据足够平台一次运动所需的总数据时，平台才开始从起点运动到终点；（3）在数据处理中设置存储区池和处理流水线进行版图数据处理：在处理之前先分配若干存储区，每个存储区都有不同的状态，只有空闲的存储区才会被拿来使用，每个存储区在使用之前先改变状态然后放入数据，再放到处理流水线上进行处理。