[发明专利]有源矩阵基板和具有其的显示面板、以及有源矩阵基板的制造方法无效
| 申请号： | 201080058007.9 | 申请日： | 2010-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN102696112A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 近间义雅;胜井宏充;锦博彦;太田纯史;水野裕二;原猛;会田哲也;铃木正彦;竹井美智子;中川兴史;春本祥征 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;G02F1/1368;G09F9/30;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 呈矩阵状设置的多个像素电极（P）；和分别与各像素电极（P）连接的多个TFT（5），各TFT（5）具有：设置于绝缘基板的栅极电极（11a）；以覆盖栅极电极（11a）的方式设置的栅极绝缘膜（12a）；以在栅极绝缘膜（12a）上与栅极电极（11a）重叠的方式设置的氧化物半导体层（13a）；和以互相对峙的方式设置、且分别与氧化物半导体层（13a）连接的源极电极（17a）和漏极电极（17b），在源极电极（17a）和漏极电极（17b）与氧化物半导体层（13a）之间，以覆盖氧化物半导体层（13a）的方式设置有保护绝缘膜（14a）。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 矩阵 具有 显示 面板 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种有源矩阵基板，其特征在于，包括：呈矩阵状设置的多个像素电极；和分别与所述各像素电极连接的多个薄膜晶体管，所述各薄膜晶体管具有：设置于绝缘基板的栅极电极；以覆盖该栅极电极的方式设置的栅极绝缘膜；在该栅极绝缘膜上以与所述栅极电极重叠的方式设置的氧化物半导体层；和以互相对峙的方式设置，且分别与该氧化物半导体层连接的源极电极和漏极电极，其中在所述源极电极和漏极电极与所述氧化物半导体层之间，以覆盖该氧化物半导体层的方式设置有保护绝缘膜。
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