[实用新型]一种卧式真空镀膜机基片传送机构有效
| 申请号： | 201020218905.3 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201695081U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;孙桂红;祝海生;郭爱云;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 湘潭市汇智专利事务所 43108 | 代理人： | 魏娟 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种卧式真空镀膜机基片传送机构，包括真空镀膜箱体、传动电机、同步长轴、传动轴、同步带、同步轮、摩擦轮，所述同步长轴安装于所述真空镀膜箱体两侧箱板之间并由所述传动电机驱动；所述传动轴为多个，平行均布在所述真空镀膜箱体两侧箱板上；所述每一个传动轴的一端设有所述同步轮，两两相邻的传动轴之间通过所述传动带驱动，每一个传动轴的另一端设有所述摩擦轮；所述同步长轴两端设置的同步轮分别通过同步带驱动设于真空镀膜箱体该端侧箱板上的传动轴。本实用新型结构简单、可靠、加工制造容易、基片传送平稳度高、摩擦轮更换方便，可实现工业化生产，替代现有卧式真空镀膜机生产线的基片传送机构，特别适应于TCO等镀膜生产线的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 真空镀膜 机基片 传送 机构 | ||
【主权项】：
一种卧式真空镀膜机基片传送机构，包括真空镀膜箱体、传动电机、同步长轴、传动轴、同步带、同步轮、摩擦轮，其特征在于：所述同步长轴安装于所述真空镀膜箱体两侧箱板之间并由所述传动电机驱动，所述同步长轴两端各设有一个同步轮；所述传动轴为多个，平行均布在所述真空镀膜箱体两侧箱板上，所述多个传动轴的轴线处于同一直线上；所述每一个传动轴的一端设有所述同步轮，两两相邻的传动轴之间通过所述传动带驱动，所述每一个传动轴的另一端设有所述摩擦轮；所述同步长轴两端设置的同步轮分别通过同步带驱动设于真空镀膜箱体该端侧箱板上的传动轴。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湘潭宏大真空设备有限公司，未经湘潭宏大真空设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020218905.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有负离子发生器的电脑机箱
- 下一篇：一种磁控溅射镀膜机
- 同类专利
- 专利分类
