[实用新型]一种准分子激光微加工系统的光具调节器

摘要

本实用新型涉及一种准分子激光微加工系统的光具调节器，属于微纳米科学技术领域，用于MEMS加工。本实用新型中，光路中的大口径光学元件放于镜架(4)的中间通孔中。在导轨上移动滑动座(1)，光学元件实现X方向微调，调节微调螺纹副驱动(8)和(9)，光学元件实现Y方向微调，调节微调螺纹副驱动(6)和(7)，光学元件实现Z方向微调，调节微调螺纹副驱动(11)，光学元件实现俯仰微调，调节微调螺纹副驱动(12)，光学元件实现左右微调，共为五维可调。紧定位器(5)直接与滑动底板(2)连接，其侧面四周均匀设置多个螺孔，通过螺钉顶固紧定位器(5)和镜架(4)，从而实现了对镜架(4)的加固，保证了光学元件可靠地长期稳定工作。

主权项

一种准分子激光微加工系统的光具调节器，由含有镜架的机械调整架构成，其特征在于：调整架由与光学导轨配合的滑动座(1)、安装在滑动座(1)上的滑动底板(2)、安装在滑动底板(2)上的支撑板(3)、安装在支撑板(3)上的镜架(4)、固定在滑动底板(2)并包围镜架(4)的紧定位器(5)组成；其中，滑动座(1)的顶部和滑动底板(2)底部设置有对应的四对螺孔，可通过螺栓和螺母连接；滑动底板(2)设有滑动凹槽，支撑板(3)插于滑动底板(2)的滑动凹槽中，支撑板(3)和滑动底板(2)的两侧设置有对称的四个孔，在孔中固定拉力弹簧(13)、(14)用于拉紧固定支撑板(3)和滑动底板(2)，滑动凹槽的两侧和底部两端设置有四个螺孔，螺孔内旋入微调螺纹副驱动(6)、(7)、(8)、(9)，并在这四个螺孔旁设置相应的小螺孔(20)，用来作为微调螺纹副驱动的锁紧装置，并且滑动底板(2)在与支撑板(3)的重叠处设置有四个紧固螺孔(19)，可使用螺钉顶住支撑板(3)，将滑动底板(2)与支撑板(3)紧固；支撑板(3)和镜架(4)为设有光具孔(22)的板状支架，支撑板(3)和镜架(4)的初始位置平行设置，在支撑板(3)和镜架(4)边缘的侧下方或侧上方设有相邻的对应的两对螺孔(18)，并通过螺栓将支撑板(3)和镜架(4)连接，在支撑板(3)和镜架(4)的其余边缘均匀设置至少两对对应的通孔，通孔穿入拉簧将支撑板(3)和镜架(4)连接，并且在两对螺孔(18)处的支撑板(3)和镜架(4)之间设置由有钢珠(10)作为旋转基点，在支撑板(3)边缘的正下方或正上方以及正右方或正左方还设置有两个螺孔，用于放入微调螺纹副驱动(11)和(12)；紧定位器(5)通过紧定位器(5)四周侧面均匀设置16至100个定位螺孔，螺孔内旋入螺钉使螺钉顶于镜架(4)侧面，将镜架(4)与紧定位器(5)紧固。