[发明专利]刻蚀液补给装置、补给方法和具该装置的湿法刻蚀设备

摘要

本发明涉及刻蚀液补给装置、补给方法和包括该补给装置的湿法刻蚀设备。本发明的刻蚀液补给装置包括与刻蚀槽连通的进液管和出液管、经进液管和出液管与刻蚀槽连通的储液槽、向储液槽补给所述刻蚀液各组分的备用溶液的补液单元及浓度检测单元和处理单元，浓度检测单元检测储液槽、刻蚀槽和进液管和出液管中至少一个的各组分的浓度，处理单元依据浓度检测结果、刻蚀液中各组分的目标浓度范围、储液槽内刻蚀液的体积及各组分备用溶液的浓度计算出需向储液槽中补给的各组分的备用溶液的体积，补液单元根据计算结果向储液槽补充各组分的备用溶液以将各组分的浓度调整到目标浓度范围内。本发明可有效确保刻蚀液各组分浓度的稳定性。

主权项

一种刻蚀液补给装置，用于向湿法刻蚀设备的刻蚀槽补充刻蚀液，包括：与刻蚀槽连通的进液管和出液管；储液槽，其经所述进液管和出液管与刻蚀槽连通以形成供刻蚀液循环流动的回路；补液单元，其用于向所述储液槽补给所述刻蚀液各组分的备用溶液；其特征在于，还包含浓度检测单元和处理单元，所述浓度检测单元用于检测所述储液槽、所述刻蚀槽和所述进液管和出液管中至少一个的各组分的浓度并将检测结果发送至所述处理单元，所述处理单元依据所述检测结果、刻蚀液中各组分的目标浓度范围、储液槽内刻蚀液的体积及各组分备用溶液的浓度计算出需向储液槽中补给的各组分的备用溶液的体积，所述补液单元根据所述计算结果向所述储液槽补充各组分的备用溶液以将所述储液槽内的刻蚀液的各组分的浓度调整到目标浓度范围内。