[发明专利]一种单晶硅制绒添加剂以及单晶硅制绒工艺有效

专利信息
申请号: 201010618903.8 申请日: 2010-12-31
公开(公告)号: CN102115915A 公开(公告)日: 2011-07-06
发明(设计)人: 陆海斌;石劲超 申请(专利权)人: 百力达太阳能股份有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 翁若莹
地址: 314512 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种单晶硅制绒添加剂以及单晶硅制绒工艺。所述的单晶硅制绒添加剂,由润湿剂和消泡剂组成,其特征在于,所述的润湿剂为非离子型表面活性剂。所述的单晶硅制绒工艺为:将去离子水加热到70-80℃,加入氢氧化钠或氢氧化钾,得到单晶硅制绒腐蚀液,其中,氢氧化钠或氢氧化钾的质量百分比浓度为1%~2%;将所述的单晶硅制绒添加剂加入单晶硅制绒腐蚀液中得到混合溶液,其中,单晶硅制绒添加剂的体积百分比浓度为0.3%-2%;将预清洗后的原始硅片放入上述混合溶液中600s-1200s进行制绒。本发明使得制绒质量有很大提高、成本大大降低、工艺操作更简单,从而实现自动配液。
搜索关键词: 一种 单晶硅 添加剂 以及 工艺
【主权项】:
一种单晶硅制绒添加剂,由润湿剂和消泡剂组成,其特征在于,所述的润湿剂为非离子型或阴离子型表面活性剂;所述的非离子型表面活性剂为烷基糖苷、聚山梨酸酯、异构醇聚氧乙烯醚、葡萄糖酸内酯以及红糖中的一种或两种以上的组合物;所述的阴离子型表面活性剂为十烷基二苯醚二磺酸钠和环己基氨基磺酸钠中的一种或两种的组合物。
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