[发明专利]一种测量工件台垂向位置的装置无效
| 申请号： | 201010259190.0 | 申请日： | 2010-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN102374844A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 林彬;张俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种测量工件台垂向位置的装置，该装置包括：光源，发射出平行光束；调制光栅，对来自光源的光束进行调制；第一显微物镜，对来自调制光栅的光束进行缩束；工件台；第二显微物镜，对从工件台反射回来的测量光束进行扩束；测量光栅，接收来自第二显微物镜的测量光束；探测器，接收从测量光栅出射的光束，并对其进行测量，得到角反射镜的高度。其中，工件台的侧面安装有一个角反射镜，该角反射镜能将入射光束平行反射回去，测量光栅上的光栅条纹与入射到测量光栅上的光束条纹成一夹角，两个光栅的周期为光源发出的光束的波长的100倍以上，光束穿过测量光栅后形成莫尔条纹。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 工件 位置 装置 | ||
【主权项】：
一种测量工件台垂向位置的装置，该装置包括：光源，发射出平行光束；调制光栅，对来自光源的光束进行调制；第一显微物镜，对来自调制光栅的光束进行缩束；第二显微物镜，对从工件台反射回来的测量光束进行扩束；测量光栅，接收来自第二显微物镜的测量光束；探测器，接收从测量光栅出射的光束，并对其进行测量，得到角反射镜的高度，其特征在于，工件台的侧面安装有一个角反射镜，该角反射镜能将入射光束平行反射回去，测量光栅上的光栅条纹与入射到测量光栅上的光束条纹成一夹角，两个光栅的周期为光源发出的光束的波长的100倍以上，光束穿过测量光栅后形成莫尔条纹。
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