[发明专利]一种信号归一化掩模对准系统

摘要

一种用于光刻设备的掩模对准系统，该对准系统包括照明模块、标记模块、投影模块、光强测量模块、位置测量模块、运动控制模块、能量探测模块、对准操作模块。本发明利用能量探测模块获得照明模块输出能量波动，并利用该能量数据对精对准时分支标记原始光强数据进行归一化，在消除照明模块输出能量波动的同时，避免了引入新的误差，提高了精对准的精度。

主权项

一种用于光刻设备的对准系统，用于确定第一物件相对于第二物件的位置关系，该系统包括：照明模块，用于提供对准照明辐射；标记模块，包括透射式标记和参考标记；投影模块，用于对透射式标记进行成像；光强测量模块，用于采集透射式标记的像扫描过参考标记时透过的原始光强数据；位置测量模块包括掩模台测量子模块和工件台测量子模块，分别用于测量与采集掩模台位置数据和工件台位置数据；能量探测模块，用于探测和采集照明模块的能量数据；其特征在于，所述对准系统利用所述能量数据、原始光强数据、掩模台位置数据、工件台位置数据经处理后获得对准位置。