[发明专利]可使工件摇摆的真空镀膜系统及摇摆载具无效
| 申请号： | 201010220723.4 | 申请日： | 2010-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN102312203A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 胡维彦;郑兆希 | 申请（专利权）人： | 向熙科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 汤在彦 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可使工件摇摆的真空镀膜系统及摇摆载具，真空镀膜系统内预设一非直线导引轨道，配合所述载具，使承载于载具上的工件在镀膜同时以一预设角度摆动，载具包括：一第一支架及一第二支架；一摇摆转轴，连接于第一支架及第二支架之间，摇摆转轴用以放置工件，并可转动；及一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，其中，传动组件在不增加额外动力源情况下，将运输载具的动力源配合非直线导引轨道将动力传动至摇摆转轴，使摇摆转轴以一正负预设角度转动，进而带动工件以摇摆转轴为轴心左右转动，从而大幅提升了镀膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 摇摆 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
一种摇摆载具，其特征在于，该摇摆载具用以配合一导引轨道及一输送装置，在仅使用输送动力源的情况下，使承载于该摇摆载具上的工件摆动，该摇摆载具包括：一第一支架及一第二支架；一摇摆转轴，连接于该第一支架及第二支架之间，该摇摆转轴用以装载所述工件；及一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并连接该摇摆转轴，在不新增额外动力源情况下，将运输载具的动力源配合该导引轨道将动力传动至该摇摆转轴，使该摇摆转轴在顺时针方向及逆时针方向转动，进而带动所述工件以一正负预设角度摆动。
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